我国科研人员研制出适用于新型芯片的绝缘材质

   新华社上海 8 月 8 日电 晶体管作为芯片的基本元件，其尺寸因芯片缩小而不断逼近物理极限，其中起到绝缘作用的栅介质材料至关重要。中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员狄增峰团队研制出适用于二维集成电路的单晶氧化铝栅介质材料——人造蓝宝石，此材料绝缘性能出色，哪怕厚度仅 1 纳米，也能有力阻挡电流泄漏。相关成果于 8 月 7 日在国际学术期刊《自然》发表。

   狄增峰介绍，团队已成功以单晶氧化铝作为栅介质材料制造出低功耗的晶体管阵列，该晶体管阵列具备良好的性能一致性。晶体管的击穿场强、栅漏电流、界面态密度等指标均符合国际器件与系统路线图对未来低功耗芯片的要求，有望为业界开发新一代栅介质材料带来启发。

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